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選購勻膠旋涂儀需要注意的三要素

發布時間: 2017-04-01  點擊次數: 1371次
   勻膠旋涂儀的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,甩膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時間有關。
  從其原理來說,我們可以看出選購勻膠旋涂儀需要注意的三個要素:
  1、旋轉速度
  轉速的快慢和控制精度直接關系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實際轉速如果誤差很大,對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數據的。國產的某些勻膠機只能提供轉速范圍,并不能標定實時的轉速。進口的勻膠機雖然大部分能標定轉速,但是大部分轉速精度沒有標準認定。建議購買轉速控制方面有認定標準的,像美國Laurell的產品,通過了NIST標準認定。
  2、真空吸附系統的構造
  真空泵一定要無油的,壓力標定準確,國內生產的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,會導致基片吸附不住而產生“飛片”的情況,還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統造成*堵塞。用過國產勻膠機的客戶常常會關心怎么清洗的問題,這一點許多國外的勻膠機做得不錯,他們有通過聯動機制,如果真空吸附力不夠的時候,不會開始旋轉。這點WS-400B-6NPP這種型號的產品做得比較好。
  3、材質的選擇
  對于半導體化工行業的應用來說,材質的選擇尤為關鍵,大部分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質,因為這種材質的成本很低,不銹鋼的對于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,塑料對于較高溫度和壓力下易產生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,將會導致旋涂時,時高時低的顛簸狀態。自然無法得到好的旋涂效果。例如美國Laurell的WS-400B,500B,650等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆, PTFE)材質。這兩種材質具備綠色環保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優點。
  勻膠旋涂儀的主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝??稍诳蒲?,教育,生產中應用。
 
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