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光學元件原子級拋光鍍膜設備：NANO-MASTER 離子束清洗拋光-磁控濺射鍍膜系統提供*進的技術，在一個腔體中實現原子級清洗和光學樣片拋光，然后把樣片傳送到第二級腔體中對同一樣片進行表面涂覆，整個過程不間斷真空。系統的設計也可以支持其中任一個腔體的單獨使用，同時具備各自的自動上/下載片功能。