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AT-400原子層沉積系統高縱橫比沉積，具有良好的共形性;曝光控制，用于在 3D 結構上實現所需的共形性；預置有經驗證過的 3D 和 2D 沉積的優化配方；簡單便捷的系統維護及安全聯鎖；目前市面上占地小，可兼容各類潔凈室要求的系統；