NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統
簡要描述:NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統: NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預真空鎖,使電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,可以通過第三方的預真空鎖來實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程
產品型號:
所屬分類:熱蒸發鍍膜熱蒸發鍍膜
更新時間:2017-03-03
廠商性質:生產廠家
詳情介紹
NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統
NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統概述:
NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預真空鎖,使電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,可以通過第三方的預真空鎖來實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。
產品特點:
- 順序蒸發或共蒸發
- 雙電子束源
- 多凹槽電子槍
- 可編程電子束掃描
- 10KW開關電源
- 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
- 手動上下載片,帶預真空鎖
- 自動上下載片
- 材料和襯墊更換非常方便
- 晶振式膜厚監測儀
- 通過LabView軟件實現PC計算機控制
- 菜單驅動,四級訪問密碼保護
產品型號:
- NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
- NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統