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NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統

簡要描述:NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統: NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預真空鎖,使電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,可以通過第三方的預真空鎖來實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程

產品型號:

所屬分類:熱蒸發鍍膜熱蒸發鍍膜

更新時間:2017-03-03

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統

NEE-4000E-Beam電子束蒸發系統概述:

    NEE-4000電子束蒸發系統為雙腔體的配置,其中樣品臺位于主腔體內,二級腔體則用于安置電子束源。兩腔體之間帶有門閥作為預真空鎖,使電子束源腔體保持真空的情況下,通過主腔體放入基片到樣平臺(或夾具)上或從中取出。在需要自動裝/卸載基片時,可以通過第三方的預真空鎖來實現。通過PC計算機控制,系統可以提供多電子束源的共蒸發能力,以及對組分或組分梯度進行編程的能力。

產品特點:

  • 順序蒸發或共蒸發
  • 雙電子束源
  • 多凹槽電子槍
  • 可編程電子束掃描
  • 10KW開關電源
  • 渦輪分子泵,極限真空5x10-7Torr
  • 手動上下載片,帶預真空鎖
  • 自動上下載片
  • 材料和襯墊更換非常方便
  • 晶振式膜厚監測儀
  • 通過LabView軟件實現PC計算機控制
  • 菜單驅動,四級訪問密碼保護

產品型號:

  • NEE-3500:計算機全自動控制的緊湊型獨立系統
  • NEE-4000:計算機全自動控制的獨立系統

 



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