Trion Orion HDCVD高密度化學氣相沉積系統
簡要描述:Trion Orion HDCVD高密度化學氣相沉積系統
產品型號: Trion Orion HDCVD
所屬分類:高密度化學氣相沉積系統
更新時間:2019-01-15
廠商性質:生產廠家
詳情介紹
Orion HDCVD 高密度氣相化學沉積系統采用高密度的化學氣相沉積技術,在惰性氣體進入口安裝感應線圈,周圍布置陶瓷管。射頻創建等離子體,通過氣體環在襯底表面附近引入揮發性氣體。當惰性氣體與揮發性物質結合時,會發生化學反應,然后在襯底表面沉積一層薄膜.
該技術不需要將襯底加熱到典型的PECVD溫度,并且該方法非常適合沉積在有機物、柔性襯底和其它具有溫度限制的表面上。
射頻可通過Chuck改變薄膜性能。
該系統可以升級傳送Loadlock,或添加到集群平臺Cluster。
該系統可以升級傳送Loadlock,或添加到集群平臺Cluster。