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高真空MEMS焊封機

簡要描述:高真空MEMS焊封機

產品型號: 2Z-HVZ系列

所屬分類:高真空MEMS焊封機

更新時間:2019-01-18

廠商性質:生產廠家

詳情介紹

高真空MEMS焊封機

  • 具有高可靠性的密封(可達到 10- 6 hPa)

  • MEMS器件可以在2個不同溫度加熱區進行工藝,溫度差可高達450°,也可Getter 激活前密封

  • 可以加工6MEMS平行工藝焊封(大6個適配器每個直徑14mm)

  • 在真空中的溫度升率:35 K /M

  • PID 控制器允許多達20個程序,每個程序可100個步驟存儲

  • USB接口可以方便編程和存儲無限程序。過程數據可以記錄并保存

  • 開放視窗結構允許連續監測/觀看的過程             

  • 該系統使用與小量和概念MEMS,相比其他系統是一個低成本的解決方案

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應用:

  •  焊縫MEMS微機械系統

  • 吸氣劑活化

  • 兩溫區熱處理工藝



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