蝕刻殘留物去除劑
簡要描述:杜邦蝕刻殘留物去除液
產品型號: EFC270
所屬分類:EKC270蝕刻殘留物去除劑
更新時間:2019-01-17
廠商性質:生產廠家
詳情介紹
杜邦™plasmasolv®ekc265™蝕刻后殘留物去除
特點:
制定zui jia的金屬堆棧完整性
“改進”寬窗口處理能力
強化蝕刻殘余物去除
清洗的掩膜減少化學殘留
超大規模集成電路(ULSI)級規格*進封裝清洗
工作溫度下蒸發速率低
應用:
應用EKC265™蝕刻后殘留物器廣泛應用在半導體行業,以滿足關鍵的清潔需求
從高深寬比MEMS器件100μm+ 到*進DRAM 的70nm集成的各個階段
下面列出了常見的應用程序:
接觸清潔
金屬線清潔
TSV深硅穿孔清潔
鎢埋位線清洗
聚酰亞胺清洗
Pad清潔
MEMS清洗